제목 | 탑엔지니어링, 마이크로 LED 수율 개선 검사 장비 개발 | ||||
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작성자 | 관리자 | 날짜 | 2021.09.13 | 조회수 | 167 |
탑엔지니어링이 마이크로 발광다이오드(LED) 디스플레이 생산 수율을 개선할 수 있는 검사 장비를 개발했다. 마이크로 LED칩을 패널에 옮기는 작업(전사) 전에 불량 칩을 선별해 불량 화소 발생을 사전 차단할 수 있는 장비다. 마이크로 LED 불량 화소 수리(리페어) 공정 비용과 시간을 단축할 수 있어 양산 어려움을 해소할 것으로 기대된다. 탑엔지니어링은 새로운 마이크로 LED 칩 계측·검사 기술을 적용한 테스트 장비 'TNCEL-W'를 개발했다고 13일 밝혔다. 장비는 기존 LED 칩 검사 장비의 한계를 극복한 장비로 50마이크로미터(㎛) 이하 마이크로 LED 칩을 웨이퍼 공정 단계에서 대량 검사할 수 있다. 마이크로 LED 칩에 직접 접촉하지 않고 전기·광학식 측정 방식을 모두 적용한 검사 장비는 탑엔지니어링이 처음이다. 방규용 탑엔지니어링 상무는 “국내외 고객사와 성능 테스트를 진행하고 있다”면서 “이르면 연말부터 시장 공급이 가능할 것”이라고 밝혔다. 탑엔지니어링이 개발한 TNCEL-W은 마이크로 LED 칩이 패널에 전사되기 전 불량 칩을 미리 파악할 수 있다. 기존 LED 칩 검사에서 사용한 전기·광학적 계측 방식을 모두 적용하면서도 칩과 직접 접촉하지 않고 검사해 마이크로 LED 칩 훼손을 최소화할 수 있다. 검사 속도도 대폭 개선했다. <출처 : 전자신문> |
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