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| 한국산업기술대학교는 남옥현 교수 연구팀이 나노막대구조를 이용해 심자외선 파장대역을 발광하는 코어-쉘(캡슐) 타입의 양자우물구조 제작 기술을 세계 최초로 개발했다고 22일 밝혔다. 자연적 나노마스크 제작방법을 이용해 성장된 혼합 극성 질화알루미늄을 화학적으로 식각해 나노막대를 제작한 후, 제작된 질화알루미늄 나노막대에 비극성면을 포함하는 다면체 양자우물구조를 형성토록 했다. 이를 통해 고효율의 심자외선 파장대역 발광층을 제작할 수 있었다. 남 교수 연구팀에는 김진완 박사 등이 참여했다. 남옥현 교수 연구팀 단체 사진. 산기대 제공 |
한국산업기술대학교는 남옥현 교수 연구팀이 나노막대구조를 이용해 심자외선 파장대역을 발광하는 코어-쉘(캡슐) 타입의 양자우물구조 제작 기술을 세계 최초로 개발했다고 22일 밝혔다. 자연적 나노마스크 제작방법을 이용해 성장된 혼합 극성 질화알루미늄을 화학적으로 식각해 나노막대를 제작한 후, 제작된 질화알루미늄 나노막대에 비극성면을 포함하는 다면체 양자우물구조를 형성토록 했다. 이를 통해 고효율의 심자외선 파장대역 발광층을 제작할 수 있었다. 남 교수 연구팀에는 김진완 박사 등이 참여했다.
연구팀은 특수 제작된 고온용 LED성장장비(MOCVD)를 이용해 질화알루미늄(AlN) 반도체 기반의 나노구조를 형성하고 나노사이즈의 선택적 마스크를 자연적으로 생성시켜 박막을 Al(알루미늄) 극성박막과 질소 극성 박막이 분리될 수 있도록 유도한 후 극성이 혼합된 질화알루미늄 템플레이트층을 생성하도록 했다. 이 기술은 최초로 다면체 심자외선 발광층을 형성한 방법이기도 하지만 포토리소그래피 방법을 전혀 사용하지 않았기 때문에 공정비용이 적게 드는 장점도 갖고 있다.
남옥현 교수는 "이번 연구는 비극성면을 포함하는 심자외선 발광층을 나노막대 구조 위에 세계 최초로 구현한 기술이며, 나노막대 구조를 사용한 차세대 고효율의 심자외선 LED 소자를 제작할 수 있는 원천기술을 개발한 것"이라고 말했다.
심자외선(UV-C) LED는 친환경의 살균 및 정화용 차세대 반도체 광원으로, 기존 화학 살균제와 램프를 대체할 수 있어서 정수기와 공기청정기 등 생활 가전뿐 아니라 빌딩과 자동차의 공조 시스템이나 수처리 장치 등 다양한 분야에 활용이 가능하다. 산업통상자원부의 10대 핵심소재(WPM)사업으로 지원된 이번 연구결과는 세계적 저명 학술지인 네이처(Nature)지의 자매 저널인 '사이언티픽 리포트'에 지난 17일 게재 됐다.이규화 선임기자 david@dt.co.kr
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<출처 :전자신문> |
